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因此清洗成本会大大低于湿法清洗

时间:2020-07-02 22:17来源:未知 作者:admin 点击:
等离子清洗机,英文叫(PlasmaCleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理,包括:等离子清洗、

  等离子清洗机,英文叫(Plasma Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理,包括:等离子清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。

  TS系列低温等离子表面处理设备-低压(真空)等离子清洗机由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽线mbar 的真空度,再在高频发生器作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物质第四态)。高频发生器提供能量使气体电离成等离子态。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光,材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

  真空等离子清洗机整个清洗过程大致如下:1)被清洗的工件送入真空式并加以固定,启动运行装置,开始排气,使线Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要几分钟。2)向真空室内引入等离子清洗用的气体,并保持腔内压强稳定。根据清洗材质的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生等离子化和产生等离子体,让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件,开始清洗作业,一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。4)清洗完毕后切断电源,并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。

  1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

  2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;

  3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。

  4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;

  5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

  等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。

  真空等离子清洗机最大技术特点是:它不分处理对象,可处理不同的基材,无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、据四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可用等离子体很好地处理,因此,特别适合不耐热和不耐溶剂的基底材料。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗。

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